大学、企業の研究関係に向けて各種真空機器設計製作を行っております。
チャンバの形状は大・小種類を選ばず設計、製作致します。
様々なタイプのフィードスルーも製作致します。

自動・手動位置決めステージ

取付スペースに応じたサイズの手動、自動ステージを設計、製作致します。
１μからの位置決め精度対応可能です。(繰返し誤差アリ)
送り方式はボールネジ仕様、5相ステッピングモータ駆動。
真空対応のステージも設計、製作致します。
真空内ケーブル、フィードスルーも含めて設計、製作致します。